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目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级

来源:河北石家庄净化车间(君信达) 浏览量: 发表时间:2017.08.23

    

目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100


的居多,数字越小,洁净等级越高。  无尘室(洁净室)1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000 ;  无尘室(洁净室)100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100 ;  注意了:每个等级所管控的颗粒大小也不一样;  依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E1992】,可将无尘室(洁净室)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000;  如果无尘室(洁净室)的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75/立方英尺)1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须


目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100



优于1000级。  一、联邦规格无尘室等级  现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格,BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格)。 其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有100.5 以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。 在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级 一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级12?88阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,依次类推。  二、无尘车间-无尘室(洁净室)标准等级  美国联邦标准209E (1992 )PC/ft3  


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